半导体晶片退火炉 管式加热炉把实验的气体通入炉管中，管子的两端由阀门密封，气体在加热中可以分解、化合等多种化学反应。充气时由阀门控制流量计、质量流量计、压力表等监控。

炉膛材料全部采用高纯氧化铝纤维板/进口摩根纤维制作而成，节能效果是老式电炉80%以上。

电压V

380

型号

SRD-1700GSL

设计温度

1000度、1200度 、1400度、1600度、1700度、1800度

可长期使用温度

950度、1150度、1350度、1550度、1650度、1750度

控温精度

±1度（集成化电路控制，无*调现象）

控制范围为

50至1800度

测温元件

热电偶分度号：K,测温范围0-13850度；S,测温范围0-1450度；B,测温范围0-1850度

发热元件装位置

平行/垂直安装于炉膛两侧

炉温均匀性

±1度（根据炉膛尺寸大小而定,大型炉膛可采用多点控温）

炉管材质

石英管/不锈钢管/刚玉管

控制

微电脑程序控制功能，可以输入设定：可同时输入多条曲线，使用时可任意调用

发热元件

硅碳棒/硅钼棒

升温速率

升温速率可自由调节，调节范围：升温速率每分钟40度（40度/min）、慢升温速率每小时1度（1度/h）

耐火材料

高纯氧化铝纤维/进口摩根纤维

冷却结构

双层炉壳，风冷；炉体温度≤45度

计算机接口(选配）

RS485/RS232/USB

保修范围及期限

电炉*保修壹年，发热元件、炉管、热电偶不保修（发热元件三个月内自然损坏*更换）

随机备件

发热元件两支、棒具两套，说明书一份，合格证一份，高温手套一副，密封圈两个。